| Skaningowy mikroskop elektronowy z włóknem wolframowym (SEM) |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| Rezolucja | 15nm przy 30KV (SE) | 5nm przy 30KV (BSE) |
| Powiększenie | 20x~60000x | 20x~150000x |
| Działo elektronowe | Wstępnie wyśrodkowany wkład z żarnikiem wolframowym, automatyczny system napięcia polaryzacji |
| Napięcie | Przyspieszenie napięcia 1KV do 30KV,
1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV – 6 kroków |
| System soczewek | Soczewka kondensatora elektromagnetycznego 2-stopniowa,
Jednostopniowa elektromagnetyczna soczewka obiektywu |
| Otwór | - | Regulowana membrana irysowa 30/50/50/100um, zmień wiązkę elektryczną, aby uzyskać obraz o wysokiej rozdzielczości |
| System próżniowy | Pompa rotacyjna, 100 litrów/min
Turbo pompa molekularna, 70 litrów/s
Czas odpompowania <3 minuty
W pełni automatyczna kontrola próżni |
| Detektor | SE: Detektor elektronów wtórnych |
| BSE: Detektor rozproszenia wstecznego (opcjonalnie) |
| EDS: (opcjonalnie) |
| Etap pracy próbki | System 3-osiowy, oś X, Y : 35mm / oś R : 360° | System 5-osiowy , oś X, Y : 35mm / oś R : 360°, Z : 0~22mm / oś tilt : 0~45° |
| Maksymalna próbka | 70mm średnicy, 30mm wysokości | Średnica 80 mm, wysokość 35 mm |
| Przesunięcie obrazu | Przesunięcie obrazu X, Y ±150um |
| System skanowania obrazu | Szybkie skanowanie: 320x240 (Czas skanowania: 0,1 sek.)
Wolne skanowanie: 640x480 (Czas skanowania: 3 sek.)
Tryb zdjęć 1: 1280x960
Tryb zdjęć 2: 2560x1920
Tryb zdjęć 3: 5120x3840 |
| Format obrazu | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Funkcja automatyczna | Auto Start, Auto Focus, Auto Jasność/Kontrast |
| Wyświetlanie zdjęć | Powiększenie, typ detektora, napięcie przyspieszające, tryb próżniowy, logo (tekst), data i godzina, znacznik tekstowy, podziałka itp. |
| Oprogramowanie komputerowe | Stacja robocza PC System Win 10, z profesjonalnym oprogramowaniem do analizy obrazu, aby w pełni kontrolować działanie całego mikroskopu SEM, specyfikacja komputera nie mniej niż Inter I5 3,2 GHz, pamięć 4G, 24-calowy monitor LCD IPS, dysk twardy 500G, mysz, klawiatura |
| Rozmiar waga | Korpus mikroskopu 460x600x950mm, waga całkowita 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 Standardowe wyposażenie i wyposażenie części |
| 1 | Wstępnie wyśrodkowane włókno wolframowe | 5 sztuk/pudełko |
| 2 | Przykładowa średnica etapu15mm | 10 sztuk |
| 3 | Przykładowa średnica etapu25mm | 10 sztuk |
| 4 | Przykładowa średnica etapu15mm 45° pochylenia | 5 sztuk |
| 5 | Przykładowa średnica etapuNachylenie 15 mm 90° | 5 sztuk |
| 6 | Wysokość standardowa Master | 1 szt. |
| 7 | Klucz imbusowy | 1 zestaw |
| 8 | Płyta CD z oprogramowaniem SEM | 1 szt. |
| 9 | Taśma przewodząca węgiel) | 1 szt. |
| 10 | Nożyce | 1 szt. |
| 11 | Aurilave | 1 szt. |
| 12 | Pinceta | 1 szt. |
