- Komora przetwarzania szkła: ∮100 mm; 130 mm wysokości.
- Rozmiar planszy: 40 mm (trzymaj 6 kubków próbek)
- Złoty rozmiar docelowy:
∮58 mm * 0,12 mm (grubość)
- Detekcja próżni: miernik Pirani
- Ochrona przed próżnią: 20 Pa z zaworem do napełniania mikroskopem
- Gaz średni: argon lub powietrze ze specjalnym wlotem gazu argonowego i regulacją gazu w mikroskali.
A50.7011 Ion Sputter Coater |
Komora próżniowa | Średnica 100mm * H130mm |
Etap próbki | Średnica 40 mm (trzymaj 6 filiżanek próbek) |
Cel napylania złota | Średnica 58 mm * 0,12 mm (grubość) |
Wskaźnik próżni | Pirani Gage |
Pompa próżniowa | Puma łopatek obrotowych: 2L / s |
Punkt ochrony próżniowej | 20 Pa Z zaworem do mikroskopii |
Gaz roboczy | Argon lub powietrze ze specjalnym wlotem gazu argonowego i regulacją gazu w mikroskali |
Napięcie rozpylania | 1,6KV |
Waga brutto | 48 kg |
Spełnienie | CE |