| Mikroskop elektroniczny skanujący włókna wolframowe (SEM) |
| |
A63.7006 |
A63.7015 |
| Rozstrzygnięcie |
15nm@30KV (SE) |
5nm@30KV ((BSE) |
| Zwiększenie |
20x~60000x |
20x~150000x |
| Elektrowa broń |
Włókno wolframowe z uprzednim środkiem, układ automatyczny Bias Voltage |
| napięcie |
Władowanie przyspieszające 1KV do 30KV, 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 stopnie |
| System soczewek |
Dwuetapowa soczewka kondensatora elektromagnetycznego, 1-stopniowa soczewka obiektywna elektromagnetyczna |
| Otwór |
- |
Regulowalna błona błoniek o rozdzielczości 30/50/50/100um, zmiana wiązki elektrycznej w celu uzyskania obrazu o wysokiej rozdzielczości |
| System próżniowy |
Pompy obrotowe, 100 litrów/min Pompy turbo molekularne, 70 litrów/sek Pump Down Ttime <3 minuty Całkowicie automatyczne sterowanie próżnią |
| Detektor |
SE: Detektor elektronów wtórnych |
| BSE: wykrywacz rozpraszania z tyłu (nieobowiązkowy) |
| EDS: (nieobowiązkowe) |
| Etap pracy próbki |
3 osi System, osi X, Y: 35 mm / osi R: 360° |
Układ 5-osiowy, oś X, oś Y: 35mm / oś R: 360°, Z: 0~22mm / oś nachylenia: 0~45° |
| Maksymalny odmian |
70 mm średnicy, 30 mm wysokości |
80 mm średnicy, 35 mm wysokości |
| Zmiana obrazu |
Przesunięcie obrazu X, Y ±150um |
| System skanowania obrazu |
Szybkie skanowanie: 320x240 (czas skanowania: 0,1 s.) Powolne skanowanie: 640x480 (czas skanowania: 3 sekundy) Tryb zdjęcia 1: 1280x960 Tryb zdjęcia 2: 2560x1920 Tryb fotograficzny 3: 5120x3840 |
| Format obrazu |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Funkcja automatyczna |
Automatyczne uruchomienie, autofokus, autojaśń/kontrast |
| Wyświetlacz zdjęć |
Zwiększenie, typ detektora, napięcie przyspieszające, tryb próżni, logo ((tekst), data i godzina, znacznik tekstu, paska skali itp. |
| Komputer i oprogramowanie |
System PC Work Station Win 10, z profesjonalnym oprogramowaniem do analizy obrazu do pełnej kontroli całej operacji mikroskopu SEM, specyfikacja komputera nie mniejsza niż Inter I5 3.2GHz, pamięć 4G,24" monitor IPS LCD, 500G twardy dysk, mysz, klawiatura |
| Wielkość i waga |
Mikroskop Korpus 460x600x950mm, całkowita masa 95kg |
| A63.7006, A63.7015 Standardowe wyposażenie narzędzi i części |
| 1 |
Włókno wolframowe precentryzowane |
3 sztuky na pudełko |
| 2 |
Diagram etapu próbkowego. 15 mm |
5 sztuk |
| 3 |
Diagram etapu próbkowego. 25 mm |
5 sztuk |
| 4 |
Średnica próbki. 15 mm 45° nachylenie |
3 sztuk |
| 5 |
Średnica etapu próbkowego. 15 mm 90° nachylenie |
3 sztuk |
| 6 |
Wysokość standardowa mistrz |
1 proc. |
| 7 |
Allen Wrench |
1 zestaw |
| 8 |
SEM Software CD |
1 proc. |
| 9 |
Taśma przewodząca węglem) |
1 proc. |
| 10 |
Nożyczki |
1 proc. |
| 11 |
Aurilave |
1 proc. |
| 12 |
Pincetki |
1 proc. |