| A63.7080, A63.7081 Główna funkcja oprogramowania | ||
| Zintegrowane uruchomienie wysokonapięciowe | Automatyczne włączanie / wyłączanie żarówki | Regulacja zmian |
| Ustawienie jasności | Elektryczne do centralnej regulacji | Automatyczna jasność |
| Ustawienie kontrastu | Regulacja obiektywu | Automatyczne skupienie |
| Ustawienie powiększania | Obiecujące odgazowanie | Automatyczna eliminacja astigmatyzmu |
| Wybrany tryb skanowania obszaru | Elektryczna regulacja obrotu | Zarządzanie parametrami mikroskopu |
| Tryb skanowania punktów | Zmiana przemieszczenia wiązki elektronów | Wyświetlenie wielkości pola skanowania w czasie rzeczywistym |
| Tryb skanowania linii | Regulacja nachylenia wiązki elektronów | Regulacja obiektywu |
| Skanowanie powierzchni | Ustawienie prędkości skanowania | Wielokanalizowane wejście |
| Monitorowanie mocy wysokonapięciowej | Centryzacja huśtawkowa | Pomiar linijki |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Rozstrzygnięcie | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| Zwiększenie | 1x~450000x,Negatywne prawdziwe powiększanie | 1x~600000x, negatywne prawdziwe powiększenie | 1x~3000000x Negatywne prawdziwe powiększenie |
| Elektrowa broń | Wyrzutki z włókna wolframowego z przedśrodkiem | Strzelba z emisją Schottky Field | Strzelba z emisją Schottky Field |
| napięcie | Napięcie przyspieszające 0.2/30 kV, ciągłe regulowanie, krok regulowania 100V@0-10Kv, 1KV@10-30Kv | ||
| Krótki przegląd | Funkcja szybkiego przeglądu obrazu | N/A | N/A |
| System soczewek | Trójpoziomowe soczewki elektromagnetyczne | Wielopoziomowe soczewki elektromagnetyczne | |
| Otwór | 3 Molibdenowe otwory obiektywu, regulowane poza systemem próżniowym, bez konieczności demontażu obiektywu do zmiany otworu | ||
| System próżniowy | 1 Pompa turbo molekularna 1 Pompa mechaniczna Próbka pomieszczenia próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby Próżnia w pomieszczeniu z bronią elektroniczną> 2,6E-3Pa Całkowicie automatyczne sterowanie próżnią Funkcja blokady próżniowej Opcjonalny model: A63.7069-LV 1 Pompa turbo molekularna 2Pompy mechaniczne Próbka pomieszczenia próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby Próżnia w pomieszczeniu z bronią elektroniczną> 2,6E-3Pa Całkowicie automatyczne sterowanie próżnią Funkcja blokady próżniowej Niska próżniaZakres 10 ~ 270 Pa dla szybkiego przełączania w 90 sekund dla BSE ((LV) |
1 zestaw pomp jonowych 1 Pompa turbo molekularna 1 Pompa mechaniczna Próbka pomieszczenia próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby Próżnia w pomieszczeniu broni elektronicznej> 2E-7 Pa Całkowicie automatyczne sterowanie próżnią Funkcja blokady próżniowej |
1 pompa jonowa z rozpylaczem 1 pompa łącznika jonowego Gettera 1 Pompa turbo molekularna 1 Pompa mechaniczna Próbka pomieszczenia próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby próby Próżnia w pomieszczeniu broni elektronicznej> 2E-7 Pa Całkowicie automatyczne sterowanie próżnią Funkcja blokady próżniowej |
| Detektor | SE: Detektor elektronów wtórnych o wysokiej próżni (z ochroną detektora) | SE: Detektor elektronów wtórnych o wysokiej próżni (z ochroną detektora) | SE: Detektor elektronów wtórnych o wysokiej próżni (z ochroną detektora) |
| BSE: Segmentacja półprzewodników 4 Detektor rozpraszania z tyłu |
Opcjonalnie | Opcjonalnie | |
| Opcjonalny model: A63.7069-LV BSE (LV): Półprzewodnik 4 Segmentacja Detektor rozpraszania z tyłu |
|||
| CCD:Infraczerwona kamera CCD | CCD:Infraczerwona kamera CCD | CCD:Infraczerwona kamera CCD | |
| Rozszerzenie portu | 2 Rozszerzenie portów na pomieszczenie do pobierania próbek EDS, BSD, WDS itp. |
4 Rozszerzenie portów na pomieszczenie próbkowe dla BSE, EDS, BSD, WDS itp. |
4 Rozszerzenie portów na pomieszczenie próbkowe dla BSE, EDS, BSD, WDS itp. |
| Etap próbki | 5 Osi Etap, 4Auto.+ 1PodręcznikKontrola Zakres jazdy: X = 70 mm, Y = 50 mm, Z = 45 mm, R=360°, T=-5°~+90° ((Ręczne) Dotknij funkcji ostrzegania i zatrzymania Opcjonalny model: A63.7069-L5 osi Auto duży etap |
5 OsiAuto. ŚrodkowaEtap Zakres jazdy: X = 80 mm, Y = 50 mm, Z = 30 mm, R=360°, T=-5°~+70° Dotknij funkcji ostrzegania i zatrzymania Opcjonalny model: A63.7080-L5 OsiAuto. WielkieEtap |
5 OsiAuto. WielkieEtap Zakres jazdy: X = 150 mm, Y = 150 mm, Z = 60 mm, R=360°, T=-5°~+70° Dotknij funkcji ostrzegania i zatrzymania |
| Maksymalny odmian | Dia. 175 mm, wysokość 35 mm | Dia. 175 mm, wysokość 20 mm | Średnica 340 mm, wysokość 50 mm |
| System obrazu | Prawdziwy obraz nieruchomości o maksymalnej rozdzielczości 4096x4096 pikseli, Format pliku obrazu: BMP ((Default), GIF, JPG, PNG, TIF |
Prawdziwy obraz nieruchomości o maksymalnej rozdzielczości 16384x16384 pikseli, Format pliku obrazu: TIF ((Default), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Auto Record Digital. AVI Video |
Prawdziwy obraz nieruchomości o maksymalnej rozdzielczości 16384x16384 pikseli, Format pliku obrazu: TIF ((Default), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Auto Record Digital. AVI Video |
| Komputer i oprogramowanie | System PC Work Station Win 10, z profesjonalnym oprogramowaniem do analizy obrazu do pełnej kontroli całej operacji mikroskopu SEM, specyfikacja komputera nie mniejsza niż Inter I5 3.2GHz, pamięć 4G,24" monitor IPS LCD, 500G twardy dysk, mysz, klawiatura | ||
| Wyświetlacz zdjęć | Poziom obrazu jest bogaty i skrupulatny, pokazując powiększenie w czasie rzeczywistym, linijkę, napięcie, szarą krzywą | ||
| Wymiar & Waga |
Mikroskop Korpus 800x800x1850mm Stół roboczy 1340x850x740mm Całkowita masa 400 kg |
Mikroskop Korpus 800x800x1480mm Stół roboczy 1340x850x740mm Całkowita masa 450 kg |
Mikroskop Korpus 1000x1000x1730mm Stół roboczy 1330x850x740mm Całkowita masa 550 kg |
| Akcesoria opcjonalne | |||
| Akcesoria opcjonalne | A50.7002Spektrometr promieniowania rentgenowskiego z dyspersją energii EDS A50.7011Powierzchnia do rozpylania jonów |
A50.7001Detektor elektronów zwrotnego rozpraszania BSE A50.7002Spektrometr promieniowania rentgenowskiego z dyspersją energii EDS A50.7011Powierzchnia do rozpylania jonów A50.7030Panel sterowania silnikiem |
A50.7001Detektor elektronów zwrotnego rozpraszania BSE A50.7002Spektrometr promieniowania rentgenowskiego z dyspersją energii EDS A50.7011Powierzchnia do rozpylania jonów A50.7030Panel sterowania silnikiem |
| A50.7001 | Detektor BSE | Wymagania w zakresie 1A001.a. dodaje się w pozycji 2A001.b. Dostępne w składnikach A+B, Informacje morfologiczne A-B; Dostępne próbki obserwowane bez rozpylania złota; Dostępne bezpośrednio z mapy szarości. |
| A50.7002 | EDS (detektor promieniowania rentgenowskiego) | Okno z azotkiem krzemu (Si3N4) w celu optymalizacji transmisji promieniowania rentgenowskiego o niskiej energii do analizy elementów lekkich; Doskonała rozdzielczość i zaawansowana elektronika o niskim poziomie hałasu zapewniają wyjątkową wydajność. Mały odcisk daje elastyczność w zapewnianiu idealnej geometrii i warunków zbierania AATA; Detektory zawierają 30 mm2 chip. |
| A50.7003 | EBSD (difracja promieniowania elektronów z powrotem rozproszonej) | Użytkownik mógłby analizować orientację kryształową, fazę kryształową i mikrostrukturę materiałów oraz właściwości związane z nimi. automatyczna optymalizacja ustawień kamery EBSD podczas gromadzenia danych, wykonywać interaktywną analizę w czasie rzeczywistym w celu uzyskania maksymalnych informacji Wszystkie dane zostały oznaczone znaczkiem czasu, który można zobaczyć w dowolnym momencie. wysoka rozdzielczość 1392 x 1040 x 12 Prędkość skanowania i indeksowania: 198 punktów/sek, przy użyciu Ni jako standardowego, w warunkach 2~5nA, może zapewnić wskaźnik ≥99%; działa dobrze w warunkach niskiego prądu wiązki i niskiego napięcia 5kV przy 100pA dokładność pomiaru orientacji: lepsza niż 0,1 stopnia Korzystanie z systemu indeksu triplex: nie ma potrzeby polegać na definicji pojedynczego pasma, łatwe indeksowanie niskiej jakości wzoru dedykowana baza danych: specjalna baza danych EBSD uzyskana przez dyfrakcję elektronów: > 400 struktury fazowej Możliwość indeksowania: może automatycznie indeksować wszystkie materiały krystaliczne 7 systemów krystalicznych. Zaawansowane opcje obejmują obliczanie sztywności elastycznej (Elastic Stiffness), współczynnika Taylora (Taylor), współczynnika Schmidta (Schmidt) itp. |
| A50.7010 | Maszyna do powlekania | Szklana powłoka ochronna: 250 mm; 340 mm wysokości; Komora do przetwarzania szkła: ¥88mm; 140mm Wysoka, ¥88mm; 57mm Wysoka; Wielkość etapu próbki: ¥40 mm (maksymalnie); System próżniowy: pompa molekularna i pompa mechaniczna; Detekcja próżni: Pirani Gage; Wykorzystanie urządzeń, o których mowa w pozycji 2A001.a. lub 2A001.b. Opieka przed próżnią: 20 Pa z zaworem nawigacyjnym w mikroskalach; Ruch próbki: rotacja płaszczyzny, przechodzenie nachylenia. |
| A50.7011 | Powierzchnia do rozpylania jonów | Komora do przetwarzania szkła: 100 mm; wysokość 130 mm; Wielkość fazy próbki: 40 mm ((trzymać 6 kubków próbki) "; Złoty Cel Wielkość: 58 mm * 0,12 mm (tłuszczość); Detekcja próżni: Pirani Gage; Opieka przed próżnią: 20 Pa z zaworem nawigacyjnym w mikroskalach; Średnie gazy: argon lub powietrze ze specjalnym wejściem powietrza do gazu argonu i gazowym regulatorem w mikroskali. |
| A50.7012 | Argon Ion Sputtering Coater | Próbka została pokryta węglem i złotem pod wysoką próżnią; Obrotowa tabela próbkowa, jednolita powłoka, wielkość cząstek około 3-5 nm; Brak wyboru materiału docelowego, brak uszkodzenia próbek; Można zrealizować funkcje oczyszczania jonów i rozrzedzania jonów. |
| A50.7013 | Suszarka punktów krytycznych | Średnica wewnętrzna: 82 mm, długość wewnętrzna: 82 mm; zakres ciśnienia: 0 - 2000 psi; Zakres temperatur: 0-50°C (32°-122°F) |
| A50.7014 | Litografia wiązki elektronowej | Na podstawie skanującego mikroskopu elektronicznego opracowano nowy system nanoekspozycji; Modyfikacja zachowała wszystkie funkcje Sem do tworzenia obrazu szerokości linii w nanoskali; Zmodyfikowany system Ebl szeroko stosowany w urządzeniach mikroelektronicznych, urządzeniach optoelektronicznych, urządzeniach kwantowych, badań i rozwoju systemów mikroelektroniki. |
| A63.7080, A63.7081 Standardowe wyposażenie zużywcze | |||
| 1 | Włókno emisji pola | Zainstalowane w mikroskopie | 1 sztuk |
| 2 | Puchar próbkowy | Średnica 13 mm | 5 sztuk |
| 3 | Puchar próbkowy | Dia.32mm | 5 sztuk |
| 4 | Taśma o dwustronnym przewodzie węglowym | 6 mm | 1 Opakowanie |
| 5 | Ogrzewki próżniowe | 10 sztuk | |
| 6 | Tkanina bez włosów | 1 rurka | |
| 7 | Pasta polerowa | 1 sztuk | |
| 8 | Pudełko próbkowe | 2 worki | |
| 9 | Wątek bawełniany | 1 sztuk | |
| 10 | Filtr mgły olejowej | 1 sztuk | |
| A63.7080, A63.7081 Standardowe wyposażenie narzędzi i części | |||
| 1 | Wewnętrzny szesokątny klucz | 1.5 mm~10 mm | 1 zestaw |
| 2 | Pincetki | Długość 100-120 mm | 1 sztuk |
| 3 | Śrubokręt z gniazdką | 2*50 mm, 2*125 mm | 2 sztuk |
| 4 | Skrzyżowany śrubokręt | 2*125 mm | 1 sztuk |
| 5 | Czyste przewody wentylacyjne | Średnica 10/6,5 mm (średnica zewnętrzna/wewnętrzna) | 5m |
| 6 | Zawór obniżający ciśnienie wentylacji | Ciśnienie wyjściowe 0-0,6 MPa | 1 sztuk |
| 7 | Wewnętrzne źródło zasilania do pieczenia | 0-3A prąd stały | 2 sztuk |
| 8 | Zasilanie UPS | 10 kVA | 2 sztuk |
| Instrument do przygotowywania próbek z mikroskopu elektronicznego skanującego | ||